-
-
工業真空等離子處理機系列
真空等離(li)子處(chu)理機是一(yi)(yi)個(ge)具有多用途(tu)的機械系(xi)統，廣泛應用于活化，退鍍，改性，蝕(shi)刻，提升(sheng)附(fu)著力和清(qing)洗等等功能。腔體大小從20升(sheng)~1000升(sheng)以上，電源、真空泵(beng)、反應氣(qi)體等根據需(xu)求(qiu)靈(ling)活定制(zhi)(zhi)，清(qing)洗工藝靈(ling)活可控制(zhi)(zhi)，具有清(qing)洗溫度(du)低，效果好(hao)，全(quan)方位(wei)清(qing)洗無死角，產(chan)能高(gao)等特點，是東信等離(li)子事業部門主推產(chan)品(pin)之(zhi)一(yi)(yi)
全國服(fu)務熱(re)線： 177-2797-3386
真空等離子處理機(ji)產(chan)品參數：
| 電源頻(pin)率 | 40KHz/13.56MHz可選 |
| 容量 | 20L~1000L |
| 功率 | 0-1000W(可調) |
| 腔體尺寸 | 定制 |
| 處理層數 | 定制 |
| 外形尺寸 | 定制 |
| 真空泵 | 油泵/干(gan)泵+羅茨(ci)組合(he) |
| 真空度 | 5-100pa(可調) |
| 腔(qiang)體材(cai)質 | 316不銹鋼(gang)/進口鋁(lv)合金(選配) |
| 氣體流量控制 | 0-500SCCM(MFC±2%) |
| 氣體通(tong)道 | 兩路(可(ke)增加):Ar/N2/H2/CF4/02 |
| 等離子體發生器 | 40KHz/13.56MHz |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 系統(tong)控制軟件 | 自主研發V2.0 |
| 電極陶(tao)瓷 | 進口高頻陶瓷(ci) |
產品功能：
蝕刻：對于(yu)光(guang)致(zhi)抗蝕劑聚酰亞胺的(de)殘(can)留和(he)以硅(gui)化(hua)物為基(ji)本(ben)成分的(de)涂層等材料的(de)清除(chu)很有(you)用
粘附提升：往基(ji)質上(shang)添(tian)加活化能(neng)力強的化學基(ji)團以提高其粘合劑的黏著度。
清洗：清除材料(liao)上的(de)光學物(wu)質的(de)污染(ran)以及清除有機物(wu)殘留，氧(yang)化(hua)和金屬(shu)鹽等對材料(liao)的(de)污染(ran)。
活(huo)化(hua)：能使處理基(ji)材表面生(sheng)成所需(xu)化(hua)學極鍵；
退鍍：使被處(chu)理基材(cai)除去金屬等材(cai)料，制(zhi)作各種產(chan)品。
標簽：
